水蒸气浓度可调范围：1-1000ppm
蒸汽流量精度高，可达±1%
汽化率****，汽化通道无死体积
亿科研发的ppm级水蒸气发生器可在气体环境中稳定生成百万分之一（ppm）级别的水蒸气，广泛应用于半导体制造、材料科学、医疗设备研发等对湿度控制要求严苛的领域。ppm级水蒸气发生器经相变汽化模块将液分散成液膜再换热转化成水蒸气，稳定地将一路液体蒸发。自主研发的相变汽化模块优势：蒸发混合稳定并有非常宽的蒸发范围。
ppm级水蒸气发生器可支持客户各种进出口接口形式的定制；可支持远程控制；可支持实时在线数据的读取与保存；设备体积小，轻便，只有传统蒸汽发生器体积的十分之一；设备寿命长，正常使用5年以上，过程中无任何易损耗材需更换。
